
Die Productronica 2025 war ein stark besuchter Marktplatz, mit extrem vielen, sehr guten Kontakten aus aller Welt für unser Haus. Besonderes Interesse in diesem Jahr weckte unsere Neuvorstellung für Durchlaufätz- und -entwicklerautomaten, so wie im Bild unsere DL500.

ETO = Elektronische Transport Oszillation zur Arbeitszonenverlängerung von Durchlaufätz oder -entwickleranlagen
In diesem System kann der Benutzer eine Verweildauer für jedes Substrat im Ätzbereich des Fördersystems festlegen. Zusätzlich lassen sich die Vor- und Rückfahrzeiten während dieser Verweildauer programmieren. So wird das Substrat während der Oszillation im Ätzraum optimal behandelt und anschließend, nach Verlassen dieses Bereichs, abgespült. Auf diese Art können auch mit kurzen Maschinen für den R&D Bereich extrem lange Prozesse und Anlagen sehr gut abgebildet werden und vergleichbare Ergebnisse erzielt werden.

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